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離子鍍膜(mó)機(jī)用到冷(lěng)卻水,什麽是離子鍍?

更(gèng)新時(shí)間:2018-01-26      點擊次數:4163

離子鍍

1.定義

蒸發物質的分子被電子碰(pèng)撞電離後以離子沉積在固體表(biǎo)麵(miàn),稱為離子鍍。離子鍍是真空蒸(zhēng)發與陰極濺射技術的結合。一種(zhǒng)離子鍍係(xì)統如圖(tú)4[離子鍍係統示意圖]

 

圖(tú)片20160707092255.jpg

 

2.原理

蒸發源接陽極,工(gōng)件接陰極,當通(tōng)以三至五千伏高壓直流電以後,蒸發源與工件之間產生輝光放(fàng)電(diàn)。由於真空罩內充(chōng)有惰性氬氣(qì),在(zài)放電(diàn)電場作(zuò)用下(xià)部(bù)分氬氣(qì)被電離,從而在(zài)陰極工件周圍形成一等離子暗區。帶正電荷的氬離子受陰極負高(gāo)壓的(de)吸引,猛烈地轟擊工(gōng)件(jiàn)表麵,致使工件表層粒子和髒物被轟濺拋出,從(cóng)而使工件待鍍表(biǎo)麵得到(dào)了充(chōng)分的離子轟擊清洗。隨後,接通蒸(zhēng)發源交流電源(yuán),蒸(zhēng)發料粒子(zǐ)熔化蒸發(fā),進入輝(huī)光放電區(qū)並被電離。帶(dài)正(zhèng)電荷(hé)的蒸發料離子,在陰極吸引下,隨同氬離子一同衝向(xiàng)工件,當(dāng)拋鍍於工件表(biǎo)麵上的蒸發料離(lí)子超過濺失離子的數量時,則逐漸堆積形成一(yī)層牢固粘附於工件(jiàn)表麵的鍍層(céng)。

3.分類

①  磁控濺射離子鍍

②  反應離子鍍

③  空(kōng)心陰極放電離子鍍

④  多弧離子鍍。

 

     

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